熱式質量流量計也叫量熱式流量計，可以對流體質量進行實時的檢測，它是一種流體質量流量儀器，利用流體通過外部熱源加熱管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或者利用加熱流體時流體溫度上升所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量。通常用于測量氣體的質量流量。

雖然都是熱式，但是原理可分為兩種：一個是加熱流體流經的部分管道，利用流體流經加熱管道時溫度場的變化進行測量，二是測量原理是加熱流體本身，利用能量與流體質量之間的關系進行測量。

熱式氣體質量流量計中的傳感器通常由兩個基準級熱電阻組成，一個是速度傳感器，另一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個熱電阻被放置在管道中的被測氣體中時，速度傳感器被加熱，另一個溫度傳感器被用來測量氣體的溫度。隨著氣體流量的增加，帶走的熱量上升，溫度傳感器本身的溫度下降。溫度傳感器前后的溫度變化值和通過管道的氣體質量流量正是線性份額，因此工作原理可以計算氣體質量流量。

氣體通過的測量段有兩個熱阻元件，一個是溫度檢測，另一個是加熱器。用于檢測氣體溫度的溫度傳感元件，加熱器通過改變電流來保持其溫度與被測氣體之間的恒定溫差。當氣體流量增加時，冷卻效果越大，熱電阻之間的恒溫電流就越大。這種遞與氣體質量流量相比，即供應電流與氣體質量流量之間存在相應的函數關系，以反映氣體流量。

熱式質量流量計壓力損失小，只需與流量傳感器配套使用，形成固定流量計，工作過程中損壞或故障少，是實用流量計，可測量低流量或小流量，管道污垢或雜質無關，熱質量流量計能準確測量流量，壓力損失不大，方便快捷。當使用熱質流量計測量氣體時，氣體的比熱容量會隨著壓力溫度的變化而變化，但所使用的溫度壓力附近的小變化可視為常數。